TCO材料(显示器用)

TCO材料，即透明导电氧化物材料，具有接近金属的电导率，高可见光透射率和低电阻率，高红外区反射及其它半导体特性，因而广泛应用于平板显示器件，太阳能光伏电池，触摸显示屏，反射热镜，特殊功能窗涂层以及光电子，微电子，真空电子器件等领域。

目前，

能够提供的TCO材料主要有两大系列：In₂O₃系和ZnO系。
In₂O₃系产品主要包括：ITO（氧化铟锡）/ ITiO（氧化铟加氧化钛）/ IMO（加钼氧化铟）/ IGZO（氧化锌镓铟）
ZnO系产品主要包括：AZO（氧化锌铝）/ GZO（氧化锌镓）/ IZO（氧化锌铟）
ITO靶材是In₂O₃和SnO₂的混合物。

提供的ITO靶材主要有三种：粒状与圆形锭状与筒状，具体指标如下。
此外

还提供ITO粉末(4N)和高纯铟（Indium 99.996%）。

	粒状ITO靶材的指标	圆形锭状ITO靶材的指标	筒状ITO靶材的指标
成分	In₂O₃：SnO₂ = 90：10 (wt%)	In₂O₃：SnO₂= 95：5 (wt%)	In₂O₃：SnO₂ = 90：10 (wt%)
密度	＞ 99%	62 ± 2%	＞ 99%
纯度	4N (99.99%)	4N(99.99%)	4N (99.99%)
尺寸	粒径 8 ~ 15mm	圆形片直径 25 × 10mmt	筒状靶直径: 50 - 400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm
颜色	灰黑色	灰黑色
阻力系数	≤ 0.25 mΩ•cm
包装	100g / 袋	1 片 / 袋

AZO靶材，即铝锌氧化物靶材，是一种导电镀膜材料。AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点,被广泛应用到平板显示、太阳能电池、光电器件、防辐射领域等。
GZO靶材是Ga₂O₃和ZnO的混合物。

提供的GZO中Ga₂O₃的含量以0.6%和3%为主，可根据客户要求，提供量身定做服务。

	AZO靶材的指标	GZO靶材的指标	ZnO靶材的指标
成分		ZnO：Ga₂O₃ = 99.4：0.6 ± 0.1 (wt%)	ZnO
密度	＞ 97%	≥ 99%	≥ 99.99%
纯度	99.95%	≥ 99.90%	≥ 99%
尺寸	平面靶 50030020mm (max.) 筒状靶直径: 50-400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm	平面靶 50030020mm (max.) 筒状靶直径: 50-400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm	平面靶 50030020mm (max.) 筒状靶直径: 50 - 400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm
颜色	灰黑色
阻力系数	5×10^{- 4} Ω •cm