TCO材料(顯示器用)

TCO材料，即透明導電氧化物材料，具有接近金屬的電導率，高可見光透射率和低電阻率，高紅外區反射及其它半導體特性，因而廣泛應用於平板顯示器件，太陽能光伏電池，觸摸顯示幕，反射熱鏡，特殊功能窗塗層以及光電子，微電子，真空電子器件等領域。

目前，

能夠提供的TCO材料主要有兩大系列：In₂O₃系和ZnO系。
In₂O₃系產品主要包括：ITO（氧化銦錫）/ ITiO（氧化銦加氧化鈦）/ IMO（加鉬氧化銦）/ IGZO（氧化鋅鎵銦）
ZnO系產品主要包括：AZO（氧化鋅鋁）/ GZO（氧化鋅鎵）/ IZO（氧化鋅銦）
ITO靶材是In₂O₃和SnO₂的混合物。

提供的ITO靶材主要有三種：粒狀與圓形錠狀與筒狀，具體指標如下。
此外

還提供ITO粉末(4N)和高純銦（Indium 99.996%）。

	粒狀ITO靶材的指標	圓形錠狀ITO靶材的指標	筒狀ITO靶材的指標
成分	In₂O₃：SnO₂ = 90：10 (wt%)	In₂O₃：SnO₂= 95：5 (wt%)	In₂O₃：SnO₂ = 90：10 (wt%)
密度	＞ 99%	62 ± 2%	＞ 99%
純度	4N (99.99%)	4N(99.99%)	4N (99.99%)
尺寸	粒徑 8 ~ 15mm	圓形片直徑 25 × 10mmt	筒狀靶直徑: 50 - 400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm
顏色	灰黑色	灰黑色
阻力係數	≤ 0.25 mΩ•cm
包裝	100g / 袋	1 片 / 袋

AZO靶材，即鋁鋅氧化物靶材，是一種導電鍍膜材料。AZO 薄膜由於具備材料無毒性、製備溫度低、工藝相對簡單、易於實現摻雜等特點,被廣泛應用到平板顯示、太陽能電池、光電器件、防輻射領域等。
GZO靶材是Ga₂O₃和ZnO的混合物。

提供的GZO中Ga₂O₃的含量以0.6%和3%為主，可根據客戶要求，提供量身定做服務。

	AZO靶材的指標	GZO靶材的指標	ZnO靶材的指標
成分		ZnO：Ga₂O₃ = 99.4：0.6 ± 0.1 (wt%)	ZnO
密度	＞ 97%	≥ 99%	≥ 99.99%
純度	99.95%	≥ 99.90%	≥ 99%
尺寸	平面靶 50030020mm (max.) 筒狀靶直徑: 50-400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm	平面靶 50030020mm (max.) 筒狀靶直徑: 50-400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm	平面靶 50030020mm (max.) 筒狀靶直徑: 50 - 400mm 厚度: 5 - 15mm 高度: 50 - 500mm
顏色	灰黑色
阻力係數	5×10^{- 4} Ω •cm