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氧化銦粉
1) 不純物規格 (例)
2) 平均細微性:1 ~ 3 μm |
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不純物規格(例) 単位ppm |
| 元素 |
Si |
Fe |
Ca |
Mg |
Al |
Cr |
Cu |
Zn |
Zr |
Ni |
Pb |
Cd |
| 5N規格 |
≦10 |
≦10 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦5 |
≦10 |
≦5 |
| 代表例 |
5 |
1 |
<1 |
<1 |
1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
1 |
2 |
2 |
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氧化鎵粉
1) 不純物規格 (例)
2) 平均細微性: 0.5 ~ 10 μm |
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不純物規格(例) 單位 : ppm |
| 元素 |
Ag |
Bi |
Ca |
Cu |
Fe |
In |
Na |
Ni |
P |
Pb |
Si |
Sn |
Zn |
| 5N規格 |
≦1 |
<3 |
≦1 |
≦1 |
≦1 |
≦1 |
≦1 |
≦1 |
<3 |
≦1 |
<5 |
<3 |
≦1 |
| 代表例 |
<1 |
<3 |
<1 |
<1 |
1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<3 |
<1 |
1 |
<3 |
<1 |
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